Siagian, Henok INSTRUMENTASI DAN TEKNIK ELLIPSOMETRI. Majalah Pendidikan Science. pp. 70-78. ISSN 0853-3792
Instrumentasi dan teknik ellipsometri.pdf - Published Version
Download (818kB) | Preview
Abstract
Elipsometri adalah suatu cara optis untuk menelaah dan mengamati berbagai peristiwa pada suatu daerah antarmuka dua zat antara. Cara ini didasarkan pada pemanfaatan perubahan pengutuban sinar yang terjadi bila seberkas sinar dipantulkan, ditransmisikan, dihamburkan oleh sebuah antarmuka atau suatu lapisan tipis (film). Ellipsometer sering digunakan untuk mengukur ketebalan lapisan tipis dielektrik yang terletak di atas substrat dengan daya serap (absorbsi) nya tinggi. Juga dapat digunakan untuk menentukan parameter-parameter optis bahan, seperti: indeks bias n, koefisien pemadaman k, koefisien serapan a, dll. Pengukuran ketebalan dengan teknik ellipsometri ini mempunyai orde yang lebih kecil (beberapa angstrom) dibandingkan dengan teknik Interferometri.
Item Type: | Article |
---|---|
Keywords: | Ellipsometri; Cahaya; Pemantulan; Pembiasan gelombang; Besaran fisis; Indeks bias |
Subjects: | Q Science > QC Physics Q Science > QC Physics > QC120 Descriptive and Experimental mechanics Q Science > QC Physics > QC350 Optics. Light |
Divisions: | Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Pendidikan Fisika |
Depositing User: | Mrs Harly Christy Siagian |
Date Deposited: | 09 Apr 2016 05:22 |
Last Modified: | 09 Apr 2016 05:22 |
URI: | https://digilib.unimed.ac.id/id/eprint/391 |