PENGARUH KECEPATAN PUTARAN DAN POST-HEATING TERHADAP UKURAN KRISTAL NANOPARTIKEL FILM TIPIS ZnO

Film tipis ZnO telah dibuat dengan metode sol-gel spin coating berdasarkan variasi kecepatan putaran spin-coating dan post-heating. Prekursor berasal dari Zinc acetal dehydrate Zn(CH3COOH)2 2H20 yang dilarutkan dengan isopropanol dengan konsenterasi larutan 0,8 M lalu distabilkan dengan diethanolamine (DEA). Proses pencampuran menggunakan teknik rejluks untuk mengontrol laju reaksi serta mengisolasi proses sintesis dari kelembaban udara luar. Pembuatan fi lm tipis ZnO dilakukan dengan teknik spin-coating dengan kecepatan putaran bervariasi yaitu 3000 rpm, 4000 rpm dan 5000 rpm, selama 30 detik untuk mendapatkan film tipis yang baik dan homogen. Kalsinasi dilakukan untuk pre-heating 300°C dan post-heating bervariasi anrara 500°C dan 600°C. Pembentukan film tipis yang terdiri dari partikel ZnO diamati se iring dengan proses pemanasan (preheating dan post-heating). Karakterisasi film tipis ZnO dilakukan dengan X-Ray Diffraction (XRD) untuk mengetahui struktur dan ukuran kristal nanopartikel ZnO. Struktur kristal nanopartikel ZnO yang diperoleh berbentuk hexagonal dan ukuran nya untuk 3000 rpm, 4000 rpm dan 5000 rpm pacta
post-heating 500°C masing-masing 283 nm, 25,9 nm dan 21,1 nm. Ukuran Kristal nanopartikel ZnO untuk 3000 rpm dan post-heating 600°C adalah 34,5 nm.