STUDI SINTESIS DAN KARAKTERISTIK FILM TIPIS ZnO DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING

Film tipis ZnO telah berhasil disintesis dengan metode sol-gel spin coating dan proses pencampuran dengan teknik refluks. Bahan yang digunakan Zinc acetat dehydrate {Zn(CH3COO)2 2H2O} sebagai material dasar, isopropanol sebagai pelarut dan diethanolamine (DEA) sebagai penstabil. Zinc acetal dehydrate Zn(CH3C00H)2 2H2O dilarutkan oleh pelarut isopropanol dengan variasi konsentTasi 0,6 M , 0,7 M dan 0,8 M lalu distabilkan dengan diethanolamine (DEA). Perbandingan molar antara DEA dan ZnAc adalah 1:1. Pembuatan film tipis ZnO dilakukan diatas substrat kaca dengan teknik spin coating dengan variasi kecepatan putaran 3000 rpm, 4000 rpm dan 5000 rpm, diputar selama 30 detik. Kalsinasi dilakukan dengan variasi suhu pre-heating 250°C, 300°C dan 350°C kemudian di post-heating dengan variasi suhu 500°C, 550°C dan 600°C. Hasil karakterisasi film tipis ZnO dengan XRD menunjukkan semua struktur kristal berbentuk wurtzite hexagonal dengan ukuran kristal paling besar untuk konsentrasi 0,8 M, kecepatan putaran 5000 rpm, suhu pre-heating 350°C dan suhu post-heating 600°C masing-masing adalah 34,1 mn, 34,1 nm, 35,3 mn dan 40,2 nm. Hasil karakterisasi SEM dan AFM menunjukkan morfologi film tipis ZnO berbentuk butiran-butiran bulat dan hampir seragam dengan kekasaran permukaan yang paling kecil 32,104 nm. HasiJ karakterisasi film tipis ZnO dengan UV-Vis menunjukkan nilai transmitansi tertinggi untuk konsentrasi 0,7 M; kecepatan putaran 4000 rpm, suhu pre-heating 250°C dan post-heating 600°C masing-masing adalah 50,1%, 59,0%, 48,1%, 57,1% dan 52,0%. Nilai absorbansi
tertinggi untuk konsentrasi 0,6 M; kecepatan putaran 3000 rpm, suhu pre-heating 250°C dan suhu post-heating 600°C masing-masing adalah 1,301; 1,188; 1,157 dan 1,224. Nilai celah pita energi yang paling kecil untuk konsentrasi 0,8 M; kecepatan putaran 5000 rpm, suhu pre-heating 250°C dan post-heating 550°C masing-masing adalah 3,13 eV, 3,10 eV, 3,12 eV dan 3,09 eV.