INSTRUMENTASI DAN TEKNIK ELLIPSOMETRI

Siagian, Henok INSTRUMENTASI DAN TEKNIK ELLIPSOMETRI. Majalah Pendidikan Science. pp. 70-78. ISSN 0853-3792

[img]
Preview
Text
Instrumentasi dan teknik ellipsometri.pdf - Published Version

Download (818kB) | Preview

Abstract

Elipsometri adalah suatu cara optis untuk menelaah dan mengamati berbagai peristiwa pada suatu daerah antarmuka dua zat antara. Cara ini didasarkan pada pemanfaatan perubahan pengutuban sinar yang terjadi bila seberkas sinar dipantulkan, ditransmisikan, dihamburkan oleh sebuah antarmuka atau suatu lapisan tipis (film). Ellipsometer sering digunakan untuk mengukur ketebalan lapisan tipis dielektrik yang terletak di atas substrat dengan daya serap (absorbsi) nya tinggi. Juga dapat digunakan untuk menentukan parameter-parameter optis bahan, seperti: indeks bias n, koefisien pemadaman k, koefisien serapan a, dll. Pengukuran ketebalan dengan teknik ellipsometri ini mempunyai orde yang lebih kecil (beberapa angstrom) dibandingkan dengan teknik Interferometri.

Item Type: Article
Keywords: Ellipsometri; Cahaya; Pemantulan; Pembiasan gelombang; Besaran fisis; Indeks bias
Subjects: Q Science > QC Physics
Q Science > QC Physics > QC120 Descriptive and Experimental mechanics
Q Science > QC Physics > QC350 Optics. Light
Divisions: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Pendidikan Fisika
Depositing User: Mrs Harly Christy Siagian
Date Deposited: 09 Apr 2016 05:22
URI: http://digilib.unimed.ac.id/id/eprint/391

Actions (login required)

View Item View Item