INSTRUMENTASI DAN TEKNIK ELLIPSOMETRI

Elipsometri adalah suatu cara optis untuk menelaah dan mengamati berbagai peristiwa pada suatu daerah antarmuka dua zat antara. Cara ini didasarkan pada pemanfaatan perubahan pengutuban sinar yang terjadi bila seberkas sinar dipantulkan, ditransmisikan, dihamburkan oleh sebuah antarmuka atau suatu lapisan tipis (film). Ellipsometer sering digunakan untuk mengukur ketebalan lapisan tipis dielektrik yang terletak di atas substrat dengan daya serap (absorbsi) nya tinggi. Juga dapat digunakan untuk menentukan parameter-parameter optis bahan, seperti: indeks bias n, koefisien pemadaman k, koefisien serapan a, dll. Pengukuran ketebalan dengan teknik ellipsometri ini mempunyai orde yang lebih kecil (beberapa angstrom) dibandingkan dengan teknik Interferometri.